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作為提高生產的必要因素、制造設備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關注。這些要求對氣體供給系統，也就是被稱為關鍵設備的質量流量控制器來說有很緊密的聯系。而批量使用搭載了在成本表現方面優勢明顯的電磁閥的質量流量控制器，則可完全符合制程要求。
?SEC-E400J
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氣體連接部材質
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SUS-316L,Teflon
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磁性不銹鋼材質閥形式
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非通電時:閉標準
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流量范圍
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM
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流量控制范圍
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2?100％ F.S.(全量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(全量程)
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?SEC-E450J
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氣體連接部材質
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SUS-316L,Teflon
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磁性不銹鋼材質閥形式
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非通電時:閉標準
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流量范圍
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20/30 SLM
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流量控制范圍
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2?100％ F.S.(全量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(全量程)
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